[发明专利]一种多模式转换等离子体放电实验演示装置及方法有效
| 申请号： | 202111463545.2 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114360341B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陈良贤;夏天;李成明;郑宇亭;邵思武;刘金龙;魏俊俊 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G09B23/18 | 分类号： | G09B23/18 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于等离子体放电领域，具体涉及一种多模式转换等离子体放电实验演示装置与方法。包括双极性脉冲电源、三台直流电源、上电极、中间电极、下电极、挡板、进气口、排气口、冷却水口、励磁调制线圈、石英玻璃腔室和不锈钢支架。通过调节电源参数、电极位置、腔压和电路类型，可实现辉光放电、电弧放电、空心阴极放电、磁控溅射等多种放电过程。本发明通过设计电极结构和电路类型，实现了多种放电模式在一定条件下的相互切换，满足实验演示、薄膜制备、材料处理等不同场合的需求，石英腔室还能完整展示出放电区域，该装置不仅能降低成本，还能够大大提高腔室空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模式 转换 等离子体 放电 实验 演示 装置 方法 | ||
【主权项】：
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