[发明专利]BOE废液制备氟化氢的方法及装置在审
| 申请号： | 202111460496.7 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN113955720A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 周贞锋;应悦;应盛荣;姜战;闻涛 | 申请（专利权）人： | 浙江容跃环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19;C01C1/02 |
| 代理公司： | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人： | 刘少伟 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种BOE废液制备氟化氢的方法及装置，其中方法包括：BOE废液与碱反应，生成氟化盐溶液和氨水；汽提蒸出氨气；所述氟化盐溶液经过双极膜电渗析分解为氢氟酸稀液和稀碱液；所述稀碱液加热浓缩为浓碱液和废水，所述浓碱液回用；所述氢氟酸稀液加热蒸馏浓缩为浓氢氟酸和废水；所述氢氟酸浓液与浓硫酸混合，得到氟化氢气体和稀硫酸；所述稀硫酸加热浓缩为浓硫酸和废水，所述浓硫酸回用。本发明以芯片蚀刻BOE废液为原料，经过一系列处理后得到氟化氢产品，该过程中碱液、浓硫酸都进行了循环利用，整个反应过程实现了闭环，真正实现了变废为宝，循环经济，绿色环保的价值取向，适合工业化推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | boe 废液 制备 氟化氢 方法 装置 | ||
【主权项】：
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