[发明专利]光控太赫兹波调制芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202111460146.0 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114200694B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 张朴婧;周庆莉;邓雨旺;梁菀琳;张存林 | 申请（专利权）人： | 首都师范大学 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;G02B6/122;G02B6/10 |
| 代理公司： | 北京清诚知识产权代理有限公司 11691 | 代理人： | 何怀燕 |
| 地址： | 100089 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光控太赫兹波调制芯片及其制备方法。该光控太赫兹波调制芯片包括：半导体衬底；以及形成于半导体衬底上的杂化结构，该杂化结构包括：微纳耦合结构，以及分散至微纳耦合结构的多个的金纳米双锥；其中，所述金纳米双锥的长径比大于等于1。本发明中，集成了金纳米材料非凡的等离子体共振特性以及纳米双锥的独特结构特征，金纳米双锥具有更大的局部电场增强、更大的光学截面、更窄的线宽、更好的形状和尺寸均匀性以及更高的折射率灵敏度，大大提升了光控太赫兹调控芯片的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 光控 赫兹 调制 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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