[发明专利]一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器在审
| 申请号： | 202111459953.0 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN116231424A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 朱能伟;方晓东;游利兵;马跃;刘弘禹 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | H01S3/034 | 分类号： | H01S3/034;H01S3/101;H01S3/106 |
| 代理公司： | 中山驰鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44706 | 代理人： | 胡犇 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器，包括用于灌装惰性气体和卤素气体的谐振腔体(1)，所述的谐振腔体(1)内设有相互间隔并能够放电的两个电极(2)，所述的谐振腔体(1)前端设有第一谐振镜片(3)，所述的谐振腔体(1)后端设有第二谐振镜片(4)，并且在第一谐振镜片(3)与电极(2)前端之间的位置设置有第一正圆形光阑(5)，在电极(2)后端与第二谐振镜片(4)之间的位置设置有第二正圆形光阑(6)。本发明结构简单，激光发散角一致，光斑呈圆形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发散 一致 圆形 光斑 准分子激光 | ||
【主权项】：
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