[发明专利]一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器在审
| 申请号： | 202111459953.0 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN116231424A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 朱能伟;方晓东;游利兵;马跃;刘弘禹 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | H01S3/034 | 分类号： | H01S3/034;H01S3/101;H01S3/106 |
| 代理公司： | 中山驰鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44706 | 代理人： | 胡犇 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 发散 一致 圆形 光斑 准分子激光 | ||
1.一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器，其特征在于：包括用于灌装惰性气体和卤素气体的谐振腔体(1)，所述的谐振腔体(1)内设有相互间隔并能够放电的两个电极(2)，所述的谐振腔体(1)前端设有第一谐振镜片(3)，所述的谐振腔体(1)后端设有第二谐振镜片(4)，并且在第一谐振镜片(3)与电极(2)前端之间的位置设置有第一正圆形光阑(5)，在电极(2)后端与第二谐振镜片(4)之间的位置设置有第二正圆形光阑(6)。
2.根据权利要求1所述的发散角一致的圆形光斑准分子激光器，其特征在于：每个所述的电极(2)纵截面轮廓包括相互平行的第一竖直边(21)和第二竖直边(22)，所述的第一竖直边(21)和第二竖直边(22)上端之间通过上轮廓边(23)连接，所述的第一竖直边(21)和第二竖直边(22)下端之间通过下轮廓边连接，所述的下轮廓边包括依次连接并在连接位置相切的第一弧形边(C1)、第二弧形边(C2)、第三弧形边(C3)、第四弧形边(C4)、第五弧形边(C5)、第六弧形边(C6)、第七弧形边(C7)、第八弧形边(C8)、第九弧形边(C9)、第十弧形边(C10)和第十一弧形边(C11)，并且所述的第一弧形边(C1)与第一竖直边(21)连接并相切，所述的第十一弧形边(C11)与第二竖直边(22)连接并相切。
3.根据权利要求2所述的发散角一致的圆形光斑准分子激光器，其特征在于：所述的第一弧形边(C1)的半径为2.238mm、第二弧形边(C2)的半径为3.535mm、第三弧形边(C3)的半径为10.787mm、第四弧形边(C4)的半径为30.59mm、第五弧形边(C5)的半径为74.01mm、第六弧形边(C6)的半径为142.764mm、第七弧形边(C7)的半径为74.01mm、第八弧形边(C8)的半径为30.59mm、第九弧形边(C9)的半径为10.787mm、第十弧形边(C10)的半径为3.535mm、第十一弧形边(C11)的半径为2.238mm，并且第一竖直边(21)与第二竖直边(22)之间的距离L为20mm。
4.根据权利要求3所述的发散角一致的圆形光斑准分子激光器，其特征在于：两个电极(2)之间最近的距离D为10mm。
5.根据权利要求1所述的发散角一致的圆形光斑准分子激光器，其特征在于：所述的第二谐振镜片(4)的反射率为99.5％，所述的第一谐振镜片(3)的反射率为8％。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳技术大学，未经深圳技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111459953.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
