[发明专利]一种基于自组装掩膜技术的欧姆接触结构制备方法及器件在审
| 申请号： | 202111449064.6 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114420750A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 刘志宏;李蔚然;周瑾;郭润霖;毛维;赵胜雷;邢伟川;杨伟涛;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学广州研究院;西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/417 | 分类号： | H01L29/417;H01L29/778;H01L21/283;H01L21/335 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 510555 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于自组装掩膜技术的欧姆接触结构制备方法及器件，该方法包括：选取具有氮化镓异质结结构的晶圆；在晶圆表面淀积掩膜层，掩膜层包括自下而上依次层叠设置的介质掩膜层和金属掩膜层；进行快速热退火处理，以使金属掩膜层自发收缩团聚，形成若干纳米尺度孔洞；在晶圆上需要制备欧姆接触的区域，利用刻蚀工艺依次刻蚀掉纳米尺度孔洞下方的介质掩膜层、复合势垒层和部分沟道层，形成欧姆接触区；在欧姆接触区沉积欧姆接触金属，并对其进行快速热退火处理，使欧姆接触金属与二维电子气沟道形成欧姆接触结构。本发明方法实现了图形尺度为纳米量级的掩膜层，而且降低了工艺成本与工艺复杂度，提升了工艺良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 组装 膜技术 欧姆 接触 结构 制备 方法 器件 | ||
【主权项】：
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