[发明专利]信息处理装置在审
| 申请号： | 202111445458.4 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN114109832A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 舞鴫惠治;杉浦哲郎;臼井克明;畠山雅规;本间知佳子;大须贺透;岩崎弘一;林介元 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C28/28;F04D19/04;F04D27/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种信息处理装置，具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。 | ||
| 搜索关键词： | 信息处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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