[发明专利]信息处理装置

权利要求书

1.一种信息处理装置，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理装置的特征在于，具备：

决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及

比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果，

所述决定部使用对象真空泵的过去的对象状态量或其他真空泵的过去的对象状态量，而按每个工序决定该对象状态量的正常变动范围，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量，

所述比较部按每个工序对运转中的对象真空泵的对象状态量与所述正常变动范围进行比较，检测从所述正常变动范围脱离的异常数据，

该信息处理装置进一步具备：

判定基准决定部，该判定基准决定部按真空泵有无故障，分别使用与对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值，来决定用于判定故障可能性或继续运转可能性的泵状态判定基准或者用于判断是否输出警报的警报判断基准；及

区分部，该区分部按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量，

所述决定部按每个经分割的所述工序决定所述对象状态量的正常变动范围，

所述区分部将从除害装置输入的开始成膜信号中所包含的开始成膜时间点作为起点，按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量。

2.一种信息处理装置，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理装置的特征在于，具备：

决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及

比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果，

所述决定部使用对象真空泵的过去的对象状态量或其他真空泵的过去的对象状态量，而按每个工序决定该对象状态量的正常变动范围，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量，

所述比较部按每个工序对运转中的对象真空泵的对象状态量与所述正常变动范围进行比较，检测从所述正常变动范围脱离的异常数据，

该信息处理装置进一步具备：

判定基准决定部，该判定基准决定部按真空泵有无故障，分别使用与对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值，来决定用于判定故障可能性或继续运转可能性的泵状态判定基准或者用于判断是否输出警报的警报判断基准；及

区分部，该区分部按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量，

所述决定部按每个经分割的所述工序决定所述对象状态量的正常变动范围，

所述真空泵设有气体传感器，该气体传感器计测所述真空泵内的特定气体的浓度，

所述区分部根据通过所述气体传感器检测出的传感值决定开始成膜时间点，并将该开始成膜时间点作为起点，按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量。

3.如权利要求1或2所述的信息处理装置，其特征在于，

进一步具备输出部，该输出部对与所述运转中的对象真空泵的对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值和通过所述判定基准决定部决定的所述泵状态判定基准进行比较，并输出泵状态诊断值，

所述泵状态诊断值包含表示故障可能性的故障指数或表示继续运转可能性的继续运转指数。

4.如权利要求3所述的信息处理装置，其特征在于，

所述判定基准决定部对于已故障的真空泵，通过统计与对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数，从而决定对象参数的统计值与所述故障指数的对应关系作为所述泵状态判定基准，

所述输出部对与所述运转中的对象真空泵的对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值和所述对应关系进行比较，从而输出所述故障指数。