[发明专利]一种无尘车间设备用门板组件在审

专利信息
申请号: 202111438962.1 申请日: 2021-11-29
公开(公告)号: CN114135199A 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 邓必文;刘东升;潘无忌 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: E06B3/70 分类号: E06B3/70;E06B7/28;G08B21/18
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦东新区自*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种无尘车间设备用门板组件,包括横梁和压敏传感器,横梁的固定部通过紧固件固定于门板,横梁将压敏传感器压紧于门板,设定压力警报值,当压敏传感器感知的压力小于压力警报值时,警报系统发出报警。本发明的门板组件,横梁通过固定部直接安装于门板上,简化了门板组件的组成部分,减少了颗粒可能的来源;在横梁和门板之间加装压敏传感器并连接至设备的警报系统,设定压力警报值,实现了对紧固件的实时监控,当紧固件松动时,横梁与门板之间产生的挤压力减小,当挤压力小于压力警报值时,设备的警报系统发出警报提醒,以使作业人员及时对松动的紧固件重新紧固,减少了排查时间,防止产能的损失。
搜索关键词: 一种 无尘车间 备用 门板 组件
【主权项】:
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