[发明专利]一种无尘车间设备用门板组件

说明书

本发明公开了一种无尘车间设备用门板组件，包括横梁和压敏传感器，横梁的固定部通过紧固件固定于门板，横梁将压敏传感器压紧于门板，设定压力警报值，当压敏传感器感知的压力小于压力警报值时，警报系统发出报警。本发明的门板组件，横梁通过固定部直接安装于门板上，简化了门板组件的组成部分，减少了颗粒可能的来源；在横梁和门板之间加装压敏传感器并连接至设备的警报系统，设定压力警报值，实现了对紧固件的实时监控，当紧固件松动时，横梁与门板之间产生的挤压力减小，当挤压力小于压力警报值时，设备的警报系统发出警报提醒，以使作业人员及时对松动的紧固件重新紧固，减少了排查时间，防止产能的损失。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种无尘车间设备用门板组件。

背景技术

半导体集成电路制造过程中，对无尘室内和对设备内的洁净度要求很高，因为颗粒会对产品产生污染，影响产品质量，甚至导致产品报废，造成浪费和损失，因此，无尘室内任何可能产生颗粒的设备或结构均需要被重点关注或被逐渐改造。Mattson Suprema XP系列是mattson公司推出的用于干法去胶的主力机台，是晶圆加工的重要工艺机台。SupremaXP腔体结构设计精密复杂，在12寸及以上晶圆加工技术中，加工环境为超高真空。晶圆从大气状态进入超高真空，中途需要一个过渡装置，称为搬送腔。搬送腔具有两个门板，一个门板用于隔绝外界大气与搬送腔，一个门板用于隔绝超真空加工腔与搬送腔，晶圆先从外界通过用于隔绝大气的门板进入搬送腔，设备对搬送腔进行抽取真空，达到真空要求值后，用于隔绝超真空加工腔的门板打开，晶圆被搬送至超真空加工腔进行后续加工。

目前，Suprema XP设备的用于隔绝搬送腔与超真空加工腔的门板上的门板组件主要包括横梁和轴承环，横梁两端形成有与轴承环的环部相匹配的安装端，轴承环的环部由两个半环组成，将安装端插入两个半环之间时，通过紧固件使两个半环靠近以将安装端压紧完成横梁与轴承环之间的固定，轴承环再通过另外的紧固件安装于门板上；门板的打开或关闭是通过驱动装置带动横梁移动，横梁再带动门板移动实现的，因此，设备长期运转后，轴承环上用于紧固横梁的紧固件以及用于将轴承环安装于门板的紧固件均会发生松动，导致轴承环与门板之间、轴承环与横梁之间均发生摩擦，进而产生颗粒，影响无尘室或设备内的洁净度，如果颗粒飘落至晶圆上，还会导致产品质量受到影响，甚至报废，造成浪费，另外，对该紧固件松动的排查也需要较长时间，影响产能。因此，如何简化门板组件以及如何监控紧固件是否松动，成为本领域内需要解决的技术问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种无尘车间设备用门板组件，能实时监控紧固件是否松动，还简化了门板组件，减少了颗粒产生的可能性。

为解决上述技术问题，本发明提供的一种无尘车间设备用门板组件，包括：

横梁，所述横梁包括梁体和固定部，所述固定部通过紧固件固定于门板，所述梁体与驱动装置连接，所述驱动装置通过所述梁体带动所述门板移动；

压敏传感器，位于所述横梁与所述门板之间，将所述横梁固定于所述门板时，所述横梁将所述压敏传感器压紧于所述门板，所述压敏传感器与设备的警报系统信号连接；

设定压力警报值，当所述压敏传感器感知的压力小于所述压力警报值时，所述警报系统发出报警。

较佳地，所述固定部一体成型于所述梁体的两端。

较佳地，所述压敏传感器安装于所述固定部。

较佳地，所述固定部开设有供所述紧固件贯穿的安装孔，所述安装孔为两个，所述压敏传感器安装于两个所述安装孔之间的中点位置处。

较佳地，所述压敏传感器安装于所述梁体。

较佳地，所述梁体与所述驱动装置通过连杆连接。

较佳地，所述梁体的中点位置处形成有连接块，所述连接杆连接于所述连接块。