[发明专利]电子烟气流传感芯片及电子烟在审
| 申请号: | 202111437326.7 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN114098171A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
| 发明(设计)人: | 石正雨;王琳琳;张睿 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | A24F40/51 | 分类号: | A24F40/51;A24F40/50;A24F40/40 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种电子烟气流传感芯片,其包括具有空腔的基底以及叠设于所述基底上的电容传感结构,所述电容传感结构包括相对间隔设置的第一振膜、第二振膜以及夹设于所述第一振膜和所述第二振膜之间的背板,所述背板与所述第一振膜和所述第二振膜间隔设置以形成振动空间,所述振动空间通过所述第一振膜和所述第二振膜封闭。本发明提供的电子烟气流传感芯片,其通过第一振膜和第二振膜封闭振动空间,使得所述振动空间免于受到电子烟内部烟雾灰尘的干扰,提高了传感器的稳定性。 | ||
| 搜索关键词: | 电子 烟气 流传 芯片 | ||
【主权项】:
暂无信息
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