[发明专利]一种用于SCM截面样品无损定位的方法及系统在审
| 申请号： | 202111402403.5 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114088982A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 杨慧;刘凌霄;左瑞涛;乔明胜;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米(苏州)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/46 | 分类号： | G01Q60/46;G01Q30/20 |
| 代理公司： | 北京崇智知识产权代理有限公司 11605 | 代理人： | 马良 |
| 地址： | 215124 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于SCM截面样品无损定位的方法，包括：标记待测样品，并根据所述标记确定待测截面位置；用透明封装材料封装所述待测样品；去除部分所述待测样品及部分所述透明封装，并露出所述待测截面；当所述待测截面为目标待测截面时，确定待测点；在与所述待测点位于同一平面的所述封装上设定坐标原点，并确定所述待测原点与所述坐标原点之间的相对位置坐标；根据所述相对位置坐标在扫描电容显微镜样品台上测试所述待测点。本申请专利提出的方法降低了样品的制备难度，保护了样品的完整性，提高了定位的准确度。本申请方法具有操作简单、适用范围广、测试结果准确的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 scm 截面 样品 无损 定位 方法 系统 | ||
【主权项】：
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