[发明专利]螺旋式电容压力传感器

摘要

本发明公开一种螺旋式电容压力传感器，该传感器包括：第一螺旋式极板结构，具有呈螺旋状的第一电极结构面；第二螺旋式极板结构，具有呈螺旋状的第二电极结构面，所述第二螺旋式极板结构的第二电极结构面与所述第一螺旋式极板结构的第一电极结构面相互嵌入设置并可上下活动；机械耦合组件和传感膜片，所述传感膜片通过机械耦合组件与所述第二螺旋式极板结构连接。通过采用独立设置的传感膜片，一方面实现对按压力的更精确的检测，另一方面将按压力转化为更加线性的位移传递至极板，实现了更加线性的按压力检测，提高了检测精确性；通过采用螺旋式电极，大大增加传感器的电极之间的接触面积，增加了传感器的电容量，提高了传感器的检测灵敏度。