[发明专利]一种紫外脉冲激光器在审

专利信息
申请号: 202111372185.5 申请日: 2021-11-18
公开(公告)号: CN114172013A 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 檀慧明;王军营 申请(专利权)人: 深圳联品激光技术有限公司
主分类号: H01S3/081 分类号: H01S3/081;H01S3/00
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 何倚雯
地址: 518000 广东省深圳市坪山区坪山街道大工业区青*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请提供了一种紫外脉冲激光器,包括壳体;光纤输出泵浦源,与所述壳体固定连接,用于产生泵浦光;准直镜,嵌设于上述壳体的壳壁上,和上述光纤输出泵浦源与上述壳体形成密闭空间;耦合镜组和激光谐振腔,容置于上述密闭空间中,且沿上述泵浦光的光路依次设置,用于产生基频激光;第一反射镜组和第二反射镜组,容置于上述密闭空间中,上述第一反射镜组设置于上述基频激光的光路上,上述第二反射镜组设置于上述第一反射镜组的反射光路上,上述第二反射镜组的反射面与上述第一反射镜组的反射面相对设置,上述第二反射镜组的反射光通过上述准直镜投射至上述壳体外。通过上述方式,本申请能够提高紫外脉冲激光器的结构紧凑性。
搜索关键词: 一种 紫外 脉冲 激光器
【主权项】:
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