[发明专利]具有分光结构的光电探测器在审
申请号: | 202111371164.1 | 申请日: | 2021-11-18 |
公开(公告)号: | CN114068752A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 王惟彪;郭广通;梁静秋;陶金;吕金光;秦余欣;陈伟帅;李香兰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01L31/101 | 分类号: | H01L31/101;H01L31/0232;H01L31/105 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种具有分光结构的光电探测器,包括:芯片、第一环形电极、第二环形电极、电极引线、分光棱镜和反射结构;芯片为凸形结构;芯片的凸起部上方为分光棱镜和第一环形电极,分光棱镜位于第一环形电极的中央;芯片的外凹部放置第二环形电极和反射结构;可见光经过分光棱镜后从芯片的上面竖直进入,近红外光经过分光棱镜被全反射到反射结构上,再经过反射结构的两次反射后,从芯片凸起部的侧面水平进入。通过利用分光结构将可见光和近红外光分开的方式,让各谱段的光都进入各自完全吸收的深度,均衡了可见光与近红外光的响应速度和量子效率对于吸收层厚度的需求相互矛盾的问题。实现了宽谱段的光高效率快速响应的效果。 | ||
搜索关键词: | 具有 分光 结构 光电 探测器 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的