[发明专利]一种基于钛酸镧的铁电忆阻器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202111369840.1 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114284430A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈星宇;张缪城;秦琦;戎焕焕;童祎 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L27/24 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 刘艳艳 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提出一种基于钛酸镧的铁电忆阻器件及其制备方法，铁电忆阻器件设置在衬底上，铁电忆阻器件包括从下至上依次布设的底电极、阻变层和顶电极，所述底电极和顶电极的材质为TiN，所述阻变层的材质为La |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 钛酸镧 铁电忆阻 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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