[发明专利]一种洁净室环境参数的控制方法、装置及系统在审
| 申请号： | 202111368129.4 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN115840480A | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 徐晓丽 | 申请（专利权）人： | 中国电子工程设计院有限公司 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02;G06F18/2135;G06N3/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 赵小霞 |
| 地址： | 100142 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及洁净室数据处理技术领域，公开了一种洁净室环境参数的控制方法、装置及系统，包括：针对洁净室的温度、湿度、洁净度和压差中任一控制对象，获取控制对象的影响因子，其中影响因子是对多个采集样本的时序相关性进行分析得到的；每个采集样本包括多个指定参数；多个指定参数中至少包括温度参数、湿度参数、洁净度参数和压差参数，然后基于影响因子控制控制对象，从而可以实现高精度控制洁净室的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 环境参数 控制 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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