[发明专利]物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置在审
| 申请号： | 202111348263.8 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114518471A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125;G01P15/14;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李庆泽;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能够同时实现高灵敏度化和粘着的降低。物理量传感器(1)包含基板(2)和可动体(3)，在可动体的第1质量部(34)的第1面(6)设置有在相邻的区域间设有阶梯差的第1～第n区域。在设第1～第n区域的离旋转轴(AY)远的一侧的端部为第1～第n端部、在可动体绕旋转轴进行了最大移位的状态下通过第1～第n端部中的2个端部且与X轴所成的角最小的假想直线为第1假想直线(VL1)、沿着第1固定电极(24)的主面的直线为第2假想直线(VL2)时，在与基板的第1固定电极的离旋转轴最近和最远的端部相交的第1和第2法线间的区域(RN12)中，第1与第2假想直线不交叉。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 器件 以及 惯性 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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