[发明专利]锁频单脉冲绿光超快激光精密雕刻透明材料的方法和系统在审
| 申请号： | 202111330690.3 | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN114273776A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京赢圣科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;B23K26/064;B23K26/362;B23K26/402 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100044 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种锁频单脉冲绿光超快激光精密雕刻透明材料的方法和系统，所述方法包括步骤：1）设置能够在高重复频率下发射高能量单脉冲且单脉冲能量一致性高的超快激光器，所述频率为10KHz‑200KHz，所述单脉冲能量为50uJ‑1000uJ；2）锁定发射频率为定值；3）设定激光波长为532±5nm；4）所述超快激光经过整形光路、光束传输光路输入到振镜、再经过场镜后聚焦透明材料表面或者内部；5）在软硬件控制器的控制下完成雕刻。本发明的雕刻方法是通过高单脉冲能量的超快激光汽化材料加工面来实现雕刻，几乎没有热影响区出现、也不需要辅助粉末等物料，标记内容精细清晰、不改变基材强度。 | ||
| 搜索关键词： | 锁频单 脉冲 绿光超快 激光 精密 雕刻 透明 材料 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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