[发明专利]载带芯片脏污识别清洗设备及清洗方法有效
| 申请号： | 202111322950.2 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN113770124B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 袁超;张宗杰;程世翀 | 申请（专利权）人： | 新恒汇电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 刘涛 |
| 地址： | 255086 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及载带芯片脏污识别清理技术领域，具体涉及一种载带芯片脏污识别清洗设备及清洗方法。该载带芯片脏污识别清洗设备包括放料系统及收料系统，放料系统与收料系统之间设置清理通道，清理通道上方设置有清洁系统，清洁系统靠近放料系统的一侧设置有检测系统；清洁系统包括等离子表面处理机，等离子表面处理机连接有朝向清理通道设置的等离子枪头；放料系统、收料系统、清洁系统及检测系统均连接控制系统。提供一种对载带芯片表面进行清洗，提高产品合格率的载带芯片脏污识别清洗设备。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 脏污 识别 清洗 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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