[发明专利]遮挡件、掩模组件、蒸镀装置和蒸镀方法在审
| 申请号： | 202111321030.9 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114015978A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 兰兰;曲毅;陈凡;姜博 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹红敏 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种遮挡件、掩模组件、蒸镀装置和蒸镀方法，遮挡件包括：承载部，包括承载框及连接于承载框内的承载梁；支撑柱，连接于承载梁并沿第一方向延伸成型；挡片，连接于支撑柱背离承载梁的一端。当遮挡件用于蒸镀工艺中时，可以利用承载框将遮挡件固定于预设位置，挡片遮挡于待蒸镀基板的预设位置，使得蒸镀材料不会蒸镀在预设位置，提高预设位置的透光率，进而提升显示面板的良率。此外，由于支撑柱的存在，能够增加挡片和承载部的距离，使得承载部不会影响正常材料的蒸镀，进一步提升显示面板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 遮挡 模组 装置 方法 | ||
【主权项】：
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