[发明专利]遮挡件、掩模组件、蒸镀装置和蒸镀方法

说明书

本申请实施例提供一种遮挡件、掩模组件、蒸镀装置和蒸镀方法，遮挡件包括：承载部，包括承载框及连接于承载框内的承载梁；支撑柱，连接于承载梁并沿第一方向延伸成型；挡片，连接于支撑柱背离承载梁的一端。当遮挡件用于蒸镀工艺中时，可以利用承载框将遮挡件固定于预设位置，挡片遮挡于待蒸镀基板的预设位置，使得蒸镀材料不会蒸镀在预设位置，提高预设位置的透光率，进而提升显示面板的良率。此外，由于支撑柱的存在，能够增加挡片和承载部的距离，使得承载部不会影响正常材料的蒸镀，进一步提升显示面板的良率。

技术领域

本申请涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种遮挡件、掩模组件、蒸镀装置和蒸镀方法。

背景技术

随着显示技术的发展，越来越多的显示面板和显示装置被应用于人们的日常生活和工作中。为了提高用户体验，现有的显示面板结构中通常集成传感器模块，例如摄像头、红外感测器等。

目前，为满足较高的屏占比，通常在显示面板的一端的中间区域设置透光的挖孔区，在挖孔区内设置传感器模块。在显示面板制备过程中，利用蒸镀掩模板蒸镀形成像素时，需要避开挖孔区，这一掩模板和待蒸镀基板的对位精度要求较高，当对位达不到时，蒸镀材料可能蒸镀于挖孔区而使得挖孔区的透光率较低，显示面板产品良率较低，成本较高。

发明内容

本申请实施例提供一种遮挡件、掩模组件、蒸镀装置和蒸镀方法，旨在提高显示面板的良率。

本申请第一方面的实施例提供了一种遮挡件，用于蒸镀掩模组件，遮挡件包括：承载部，包括承载框及连接于承载框内的承载梁；支撑柱，连接于承载梁并沿第一方向延伸成型；挡片，连接于支撑柱背离承载梁的一端。

根据本申请第一方面的实施方式，挡片背离支撑柱的一侧设置有柔性垫。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，承载梁包括沿第二方向延伸的第一承载梁，多个第一承载梁沿第三方向间隔分布，支撑柱连接于第一承载梁。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，承载梁还包括沿第三方向延伸的第二承载梁，第一承载梁和第二承载梁相交，至少部分支撑柱连接于第一承载梁和第二承载梁的交叉区域。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，多个支撑柱沿第二方向间隔分布于同一第一承载梁。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，多个支撑柱沿第三方向间隔分布于同一第二承载梁。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，挡片具有垂直于第一方向的第一横截面，沿背离承载框的方向，第一横截面尺寸逐渐减小。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，挡片具有朝向承载框的第一表面、背离承载框的第二表面和连接第一表面和第二表面的周侧面，周侧面和第一表面之间的角度小于或等于60°。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，承载框上设置有卡扣部，以使承载框通过卡扣部固定于预设位置。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，卡扣部的个数为多个，多个卡扣部在承载框上间隔分布。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，卡扣部包括连接臂和卡接臂，连接臂连接于承载框并沿第一方向延伸成型，卡接臂连接于连接臂背离承载框的一端并沿与连接臂相交设置。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，卡接臂由连接臂朝向承载框内部延伸成型。

根据本申请第一方面前述任一实施方式，卡扣部和支撑柱设置于承载框在第一方向的同侧，卡扣部在第一方向上的延伸尺寸小于支撑柱在第一方向上的延伸尺寸。

本申请第二方面的实施例还提供了一种掩模组件，包括上述任第一方面实施例提供的遮挡件。