[发明专利]一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法在审
| 申请号： | 202111316982.1 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN116109715A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;姚文泽;赵浩杰;徐宏成;刘薇;侯程阳 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G06T9/40 | 分类号： | G06T9/40;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410082 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明是一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法包括：S1归一化版图边界；S2判定每个四叉树网格区域的划分层级；S3版图图案边界对四叉树网格进行剪切；S4邻近效应矫正剂量映射入非均匀四叉树网格；S5将四叉树网格与曝光剂量存入文件。本发明采用了非均匀四叉树网格压缩方法，最大特点是在版图边缘部分网格划分相对密集，在版图的内部网格划分相对稀疏，这种压缩方法完全符合电子束邻近效应矫正的剂量特性，将电子束邻近效应矫正后的剂量映射至该网格，能够极大降低网格数量，从而提高曝光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束光刻 邻近 效应 矫正 版图 压缩 方法 | ||
【主权项】：
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