[发明专利]一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法

权利要求书

1.一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，归一化版图边界；

步骤S2，判定每个四叉树网格区域的划分层级；

步骤S3，版图图案边界对四叉树网格进行剪切；

步骤S4，邻近效应矫正剂量映射入非均匀四叉树网格；

步骤S5，将四叉树网格与曝光剂量存入文件。

2.如权利要求1所述的一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，其特征在于：于步骤S1中，确定曝光版图的矩形边界位置坐标，并在矩形边界的四边分别向外扩展一定距离D，扩展后的矩形网格确定四叉树网格的边界，然后将四叉树网格内的尺寸归一化，构成1.0×1.0浮点数四叉树网格边界，该网格定义为根网格，层级为0。

3.如权利要求1所述的一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，其特征在于：于步骤S2中，确定四叉树网格的最大L_max和最小L_min的划分层级，进行非均匀四叉树网格划分。当光刻版图图案边界直线段(曲线段近似为多段直线段)与当前四叉树网格任意一条边存在相交或重叠关系时，直接进行当前网格的四叉树划分。

判定版图中的直线段与四叉树网格的边界线段相交，线段AB、CD当满足式(1)时，即：

式中，×代表向量叉乘，且满足与不同时为0，与不同时为0。

判定版图中的直线段与四叉树网格的边界线段重叠，即：将两个线段的四个端点按大小顺序排列，先比较横坐标，横坐标大的点更大，横坐标相同，纵坐标大的点更大，按照大小顺序得到线段AB、CD。当满足式(2)时，即：

当前网格的四叉树划分方法，即：取当前矩形网格M_l四条边的中点S_m，将对边的中点相连，两条交线与M_l的四条边构成了四个等大小的子网格M_l+1，新划分的四个子网格M_l+1替代当前的矩形网格M_l，然后以每个子网格M_l+1为当前网格，继续执行四叉树网格划分，每个网格的最小划分层数为L_min，最大划分层数为L_max。

4.如权利要求1所述的一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，其特征在于：于步骤S3中，将版图的四叉树网格划分完成后，以原版图图案的边线段为边界，对整个四叉树网格进行边界剪切，保留图案边界连通域内部的剩余网格，即：图案边界区域被切割后的网格重新按照多边形顶点首尾连接成新的多边形网格，图案连通域内部未被切割的网格保留，图案连通域外部未被切割的网格直接抛弃。然后将网格的尺寸进行去归一化操作，得到版图最终的非均匀四叉树网格W_i(i＝1,2,…,N；N为非均匀四叉树网格的总个数)，初始化对应的电子束曝光剂量D_i为0。

5.如权利要求1所述的一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，其特征在于：于步骤S4中，对电子束光刻矩形版图进行等间隔均匀网格划分(即m×n个小网格)，每个网格为一个像素p_i，对应的剂量为d_i，并使用电子束邻近效应剂量矫正方法得到每个像素点的曝光剂量。对矫正后的每个像素内曝光剂量d_i映射到对应的某个非均匀四叉树网格的区域W_i，其方法为：取每个像素值中心对应的坐标位置p_i，遍历整个非均匀四叉树网格，判定p_i在其中的某个非均匀四叉树网格W_i区域内部，并将曝光剂量D_i更新为：

式中，k为每个非均匀四叉树网格W_i内包含的等间隔均匀网格的个数。