[发明专利]一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法

说明书

本发明是一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法包括：S1归一化版图边界；S2判定每个四叉树网格区域的划分层级；S3版图图案边界对四叉树网格进行剪切；S4邻近效应矫正剂量映射入非均匀四叉树网格；S5将四叉树网格与曝光剂量存入文件。本发明采用了非均匀四叉树网格压缩方法，最大特点是在版图边缘部分网格划分相对密集，在版图的内部网格划分相对稀疏，这种压缩方法完全符合电子束邻近效应矫正的剂量特性，将电子束邻近效应矫正后的剂量映射至该网格，能够极大降低网格数量，从而提高曝光效率。

技术领域

本发明涉及一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，该方法能够将邻近效应矫正后的版图进行网格压缩，在确保精度的前提下，极大降低网格数量，有效提高曝光效率。

背景技术

随着电子束光刻(Electron Beam Lithography，EBL)的最小尺寸达到亚10纳米级别，为了确保电子束曝光版图的高分辨率，电子束邻近效应矫正(Proximity EffectCorrection，PEC)后的网格将进一步缩小，增加了版图网格的存储数量，从而大大降低电子束光刻过程的计算效率。为了压缩版图的网格数量，必须采用非均匀网格的划分模式。目前，二维非均匀网格划分中普遍应用三角形网格、四边形网格等非矩形网格图形。而这种非矩形类的网格划分，在实际的电子束光刻过程中，与电子束光刻的水平、竖直扫描方式不完全兼容，当出现小锐角的网格时，容易出现像素失真，从而影响电子束光刻的分辨率。

因此，为了找到一种矩形非均匀网格的版图划分方法，本发明采用了非均匀四叉树网格压缩方法，该方法的最大特点是在版图边缘部分网格划分相对密集，在版图的内部网格划分相对稀疏，这种压缩方法完全符合电子束邻近效应矫正的剂量特性，即在版图边缘的剂量矫正相对明显，在版图中间区域的剂量矫正相对平缓。最终将电子束邻近效应矫正后的剂量映射至该网格，能够极大降低网格数量，从而提高曝光效率。

发明内容

本发明是一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，目的是有效降低电子束邻近效应版图的网格数量，在确保精度的前提下，极大提高电子束光刻的曝光效率。

本发明的技术解决方案为：通过非均匀四叉树网格压缩电子束光刻临近下应矫正后的版图，发明步骤如下：

步骤S1，归一化版图边界；

读入电子束光刻的原始版图，确定曝光版图的最外层边界位置坐标，并在矩形边界的四边分别向外扩展一定距离D，扩展后的矩形网格确定四叉树网格的边界，然后将四叉树网格内的尺寸归一化，构成1.0×1.0浮点数四叉树网格边界，该网格定义为根网格，层级为0。

步骤S2，判定每个四叉树网格区域的划分层级；

确定四叉树网格的最大L_max和最小L_min的划分层级，进行非均匀四叉树网格划分。当光刻版图图案边界直线段(曲线段近似为多段直线段)与当前四叉树网格任意一条边存在相交或重叠关系时，直接进行当前网格的四叉树划分。

判定版图中的直线段与四叉树网格的边界线段相交，如图2(a)所示，线段AB、CD当满足式(1)时，即：

式中，×代表向量叉乘，且满足与不同时为0，与不同时为0。

判定版图中的直线段与四叉树网格的边界线段重叠，如图2(b)所示，即：将两个线段的四个端点按大小顺序排列，先比较横坐标，横坐标大的点更大，横坐标相同，纵坐标大的点更大，按照大小顺序得到线段AB、CD。当满足式(2)时，即：