[发明专利]激光器的制备方法及激光器

摘要

本公开提供了一种激光器的制备方法及激光器，其制备方法包括：提供衬底。在衬底上形成包括未混杂的有源区的外延层。在外延层上的部分区域形成至少一层混杂层，用于提供目标离子。在混杂层和外延层上的裸露区域上形成抑制层，以抑制未被混杂层覆盖的外延层中的离子扩散挥发而产生缺陷。通过热退火工艺将混杂层的目标离子扩散到未混杂的有源区内，形成混杂的有源区。去除外延层上的混杂层以及抑制层。采用以上技术方案能够有效提高有源区的混杂效率，进而使激光器获得更好的蓝移效果，并能够有效降低目标离子扩散进入不需要混杂的各层的含量，从而降低激光器的缺陷，进而提高激光器的性能。