[发明专利]一种ZnO气敏材料的低温制备方法及其在H2

摘要

本发明公开了一种ZnO气敏材料的低温制备方法及其在H2S气体传感器中的应用，属于化学传感器技术领域。其中低温制备方法如下：(1)称取Zn(Ac)2·2H2O，加入去离子水，并进行搅拌至完全溶解，得到溶解液；(2)移取NH3·H2O溶液加入步骤(1)制备的溶解液中，密封，放置烘箱中烘干处理；(3)将步骤(2)中静置处理后的溶解液，去除上层清液，并将剩余物进行离心处理，再次去除上层清液，接着用乙醇超声清洗三次，得到白色凝胶状沉积物，转移至烘箱中烘干处理，最后研磨成粉体，转移至高温处理，即可。本发明着重于降低合成ZnO气敏材料的成本及烧结温度，低碳排放，同时结合MEMS应用在硫化氢气体检测，有着突出的灵敏性及选择性，具有重要的市场应用前景。