[发明专利]芯片生产用视觉检测标定装置在审
申请号: | 202111282354.6 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN114034719A | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 周晓辉;袁博 | 申请(专利权)人: | 算筹(深圳)信息科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;B41J3/413;B41J2/47 |
代理公司: | 济南誉琨知识产权代理事务所(普通合伙) 37278 | 代理人: | 高云云 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明属于芯片生产应用技术领域,尤其涉及一种芯片生产用视觉检测标定装置。包括工作台以及设置在工作台上的十字滑台,所述十字滑台的两侧分别设置有进料输送机构和出料输送机构,所述十字滑台的上方设置有视觉检测标定机构,所述十字滑台的前端设置有转运机械手,所述十字滑台远离转运机械手的一端设置有固定架,所述视觉检测标定机构通过固定架设置在十字滑台的上方,与现有技术相比,本发明的优点和积极效果在于,本发明利用激光打标机配合工业相机的设置,有效提高整个芯片视觉检测过程中标记效率,同时,本发明可以在现有的设备上进行改进,适合大规模推广使用。 | ||
搜索关键词: | 芯片 生产 视觉 检测 标定 装置 | ||
【主权项】:
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