[发明专利]一种薄膜体声波谐振器、制备方法及薄膜体声波滤波器在审
| 申请号： | 202111268238.9 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114006600A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 闫鑫;张智欣;陈长娥;于海洋;倪烨 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/54;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 翟磊 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜体声波谐振器、制备方法及薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括衬底、底电极、压电层、顶电极和钝化层，其中，底电极与顶电极的材质为二维材料如石墨烯、金属硫化物等；二维材料具有良好的电学性能，因此，用其制备的电极厚度极薄，不但能够减小电极损耗，提升Q值，而且还可以极大减小“三明治”结构的厚度，增加压电层的占比，进而提高薄膜体声波谐振器的谐振频率，增大有效机电耦合系数，有利于高频宽带滤波器产品的开发。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 制备 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
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