[发明专利]一种同芯集成的体声波双工器、制备方法和电子设备在审
| 申请号： | 202111268153.0 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114006602A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 闫鑫;张智欣;陈长娥;于海洋;倪烨 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/70 | 分类号： | H03H9/70;H03H9/13;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 翟磊 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种同芯集成的体声波双工器、制备方法和电子设备，体声波双工器，包括衬底、第一电极层、压电层、第二电极层和钝化层，压电层包括第一子压电层和第二子压电层，第一子压电层的厚度和第二子压电层的厚度不同，由于第一子压电层的厚度和第二子压电层的厚度不同，从而实现将工作频带不同的发射滤波器和接收滤波器集成在同一芯片中，且体积小，生产成本低，能够促进小型化的进程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 声波 双工器 制备 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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