[发明专利]一种带隙可调的非晶碳薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202111267283.2 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN113969393A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王岩;徐鹏飞;罗帅;季海铭 | 申请（专利权）人： | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人： | 邓寅杰 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种带隙可调的非晶碳薄膜及其制备方法，在磁控溅射设备上，以透明玻璃为衬底，使用纯度99.999%的石墨盘作为磁控溅射靶材，衬底与靶材之间的距离为75mm；对衬底进行预加热，预加热温度为200℃；溅射系统腔室抽真空，真空度为10 |
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| 搜索关键词： | 一种 可调 非晶碳 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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