[发明专利]一种光谱共焦的面阵位移测量装置、测量方法及标定方法在审
| 申请号: | 202111260088.7 | 申请日: | 2021-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN114018157A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
| 发明(设计)人: | 谢勇;许永童;马路明;孙城林;黄春志 | 申请(专利权)人: | 上海兰宝传感科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 赵迎迎 |
| 地址: | 201404 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明实施例公开了一种光谱共焦的面阵位移测量装置、测量方法及标定方法。该装置包括:宽光谱面阵光源、半反半透分光镜、色散物镜和光谱分析单元;宽光谱面阵光源包括面光源和第一阵列光阑以形成阵列光源,阵列光源出射后经半反半透分光镜和色散物镜照射在待测目标,反射光经色散物镜和半反半透分光镜成像在光谱分析单元;光谱分析单元包括第二阵列光阑、面阵感光芯片阵列和后端处理电路,反射光经第二阵列光阑照射在面阵感光芯片阵列,面阵感光芯片阵列进行光谱分析,并生成电平信号发到后端处理电路,后端处理电路对电平信号进行处理以生成位移测量结果。从而实现了面阵位移测量,仅通过简单计算即可完成测量过程,提高了面阵位移测量效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 光谱 位移 测量 装置 测量方法 标定 方法 | ||
【主权项】:
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