[发明专利]一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统、方法及装置在审
| 申请号： | 202111256755.4 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN113983924A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 马越;于晓辉;邵剑锋;李澍 | 申请（专利权）人： | 北京航天巨恒系统集成技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 李欣 |
| 地址： | 100085 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统、方法及装置，其中，第一处理芯片，第二处理芯片，同步时钟卡与多个激光干涉仪解调卡接入第一并行总线；第二处理芯片，同步时钟卡与多个激光干涉仪解调卡接入第二并行总线；第一处理芯片，用于通过第一并行总线对多个激光干涉仪解调卡的运行进行管控；激光干涉仪解调卡，用于采集自身对应的工件台的坐标数据；同步时钟卡，用于通过第二并行总线，获取多个激光干涉仪解调卡采集的坐标数据；并向第二处理芯片发送坐标数据；第二处理芯片，用于基于接收的坐标数据进行坐标解算，得到综合坐标数据；以及向控制系统上报综合坐标数据。采用该方案，提高了针对多轴激光干涉仪进行坐标解算的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 干涉仪 坐标 系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
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