[发明专利]一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统、方法及装置

说明书

本申请公开了一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统、方法及装置，其中，第一处理芯片，第二处理芯片，同步时钟卡与多个激光干涉仪解调卡接入第一并行总线；第二处理芯片，同步时钟卡与多个激光干涉仪解调卡接入第二并行总线；第一处理芯片，用于通过第一并行总线对多个激光干涉仪解调卡的运行进行管控；激光干涉仪解调卡，用于采集自身对应的工件台的坐标数据；同步时钟卡，用于通过第二并行总线，获取多个激光干涉仪解调卡采集的坐标数据；并向第二处理芯片发送坐标数据；第二处理芯片，用于基于接收的坐标数据进行坐标解算，得到综合坐标数据；以及向控制系统上报综合坐标数据。采用该方案，提高了针对多轴激光干涉仪进行坐标解算的效率。

技术领域

本申请涉及精密运动控制技术领域，尤其涉及一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统、方法及装置。

背景技术

在精密运动控制技术中，经常需要对多轴并联运动机构进行控制，在控制的过程中，需要对多轴并联运动机构的位置进行定位，例如，使用多路位置反馈传感器进行定位，其中，多轴激光干涉仪为经常使用的一种多路位置反馈传感器。

在实际应用中，多轴并联运动机构通常包括多个自由度的工件台，针对每个工件台，设置有一个激光干涉仪解调卡，每个激光干涉仪解调卡，通过反射镜面与光路，可以采集工件台的坐标数据，以便实现对工件台的位置进行定位，进而实现基于位置对工件台的运动进行控制。

在实际应用中，往往需要针对多个激光干涉仪解调卡采集得到的多个坐标数据进行坐标解算，得到综合坐标数据，并上传到控制系统，作为闭环的位置反馈，由控制系统基于接收的综合坐标数据对工件台进行控制。

由于进行坐标解算的系统属于复杂计算机系统，并且需要对多轴并联运动机构进行精密运动控制，所以，在坐标数据采集、传输、坐标解算和上报的过程中，对传输延迟的要求较高。

目前，针对多轴激光干涉仪进行坐标解算，存在效率较低的问题。

发明内容

本申请实施例提供一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统、方法及装置，用以解决现有技术中存在的针对多轴激光干涉仪进行坐标解算时效率较低的问题。

本申请实施例提供一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统，包括：第一处理芯片，第二处理芯片，多个激光干涉仪解调卡，同步时钟卡；

所述第一处理芯片，所述第二处理芯片，所述同步时钟卡与所述多个激光干涉仪解调卡接入第一并行总线；

所述第二处理芯片，所述同步时钟卡与所述多个激光干涉仪解调卡接入第二并行总线；

所述第一处理芯片，用于通过所述第一并行总线对所述多个激光干涉仪解调卡的运行进行管控；

所述激光干涉仪解调卡，用于采集自身对应的工件台的坐标数据；

所述同步时钟卡，用于通过所述第二并行总线，获取所述多个激光干涉仪解调卡采集的所述坐标数据；并向所述第二处理芯片发送所述坐标数据；

所述第二处理芯片，用于基于接收的所述坐标数据进行坐标解算，得到综合坐标数据；以及向控制系统上报所述综合坐标数据。

进一步的，所述第一处理芯片，还用于针对所述多个激光干涉仪解调卡配置同步时序，并通过所述第一并行总线将配置的同步时序发送给所述同步时钟卡；

所述同步时钟卡，还用于按照所述同步时序，通过所述第二并行总线，向所述多个激光干涉仪解调卡发送同步信号；

所述激光干涉仪解调卡，具体用于按照接收的所述同步信号，采集自身对应的工件台的坐标数据，并锁存得到的所述坐标数据。

进一步的，所述同步时钟卡，还用于在接收到所述同步时序后，按照所述同步时序，向所述控制系统发送同步指令。