[发明专利]一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统、方法及装置

权利要求书

1.一种多轴激光干涉仪的坐标解算系统，其特征在于，包括：第一处理芯片，第二处理芯片，多个激光干涉仪解调卡，同步时钟卡；

所述第一处理芯片，所述第二处理芯片，所述同步时钟卡与所述多个激光干涉仪解调卡接入第一并行总线；

所述第二处理芯片，所述同步时钟卡与所述多个激光干涉仪解调卡接入第二并行总线；

所述第一处理芯片，用于通过所述第一并行总线对所述多个激光干涉仪解调卡的运行进行管控；

所述激光干涉仪解调卡，用于采集自身对应的工件台的坐标数据；

所述同步时钟卡，用于通过所述第二并行总线，获取所述多个激光干涉仪解调卡采集的所述坐标数据；并向所述第二处理芯片发送所述坐标数据；

所述第二处理芯片，用于基于接收的所述坐标数据进行坐标解算，得到综合坐标数据；以及向控制系统上报所述综合坐标数据。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一处理芯片，还用于针对所述多个激光干涉仪解调卡配置同步时序，并通过所述第一并行总线将配置的同步时序发送给所述同步时钟卡；

所述同步时钟卡，还用于按照所述同步时序，通过所述第二并行总线，向所述多个激光干涉仪解调卡发送同步信号；

所述激光干涉仪解调卡，具体用于按照接收的所述同步信号，采集自身对应的工件台的坐标数据，并锁存得到的所述坐标数据。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述同步时钟卡，还用于在接收到所述同步时序后，按照所述同步时序，向所述控制系统发送同步指令。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一并行总线为VME总线，所述第二并行总线为P2BUS总线。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一处理芯片为CPU芯片，所述第二处理芯片为DSP芯片。

6.一种多轴激光干涉仪的坐标解算方法，其特征在于，应用于多轴激光干涉仪的坐标解算系统的同步时钟卡，所述多轴激光干涉仪的坐标解算系统还包括第一处理芯片，第二处理芯片和多个激光干涉仪解调卡；所述第一处理芯片，所述第二处理芯片，所述同步时钟卡与所述多个激光干涉仪解调卡接入第一并行总线；所述第二处理芯片，所述同步时钟卡与所述多个激光干涉仪解调卡接入第二并行总线；所述第一处理芯片用于通过所述第一并行总线对所述多个激光干涉仪解调卡的运行进行管控；

所述方法，包括：

通过所述第二并行总线，获取所述多个激光干涉仪解调卡采集的坐标数据，所述坐标数据为每个激光干涉仪解调卡采集自身对应的工件台的数据；

向所述第二处理芯片发送所述坐标数据，以使所述第二处理芯片基于接收的所述坐标数据进行坐标解算，得到综合坐标数据，并向控制系统上报所述综合坐标数据。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述通过所述第二并行总线，获取所述多个激光干涉仪解调卡采集的坐标数据之前，还包括：

通过所述第一并行总线接收所述第一处理芯片发送的同步时序，所述同步时序为所述第一处理芯片针对所述多个激光干涉仪解调卡配置的同步时序；

按照所述同步时序，通过所述第二并行总线，向所述多个激光干涉仪解调卡发送同步信号，使得所述激光干涉仪解调卡按照接收的所述同步信号，采集自身对应的工件台的坐标数据，并锁存得到的所述坐标数据。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，在所述通过所述第一并行总线接收所述第一处理芯片发送的同步时序后，还包括：

按照所述同步时序，向所述控制系统发送同步指令。

9.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一并行总线为VME总线，所述第二并行总线为P2BUS总线。

10.如权利要求6所述的方，其特征在于，所述第一处理芯片为CPU芯片，所述第二处理芯片为DSP芯片。