[发明专利]多晶硅歧化反应塔内的催化剂的处理方法及处理系统在审
申请号: | 202111255509.7 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN116020347A | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 苏明 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | B01J8/00 | 分类号: | B01J8/00;B01J19/14;C01B7/03;C01B33/035;C01B33/107;C01B33/18 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;张萍 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅歧化反应塔内的催化剂的处理方法及处理系统,该方法包括以下步骤:1)向多晶硅歧化反应塔内通入四氯化硅,四氯化硅与多晶硅歧化反应塔内的二氯二氢硅反应生成三氯氢硅;2)再通入四氯化硅进行循环置换,而后将通入到多晶硅歧化反应塔中的四氯化硅撤空;3)向多晶硅歧化反应塔内通入氮气进行置换,直到多晶硅歧化反应塔内的氢气浓度值低于第一预设氢气浓度值停止置换;4)向多晶硅歧化反应塔内通入空气,空气中的氧气与多晶硅歧化反应塔内的三氯氢硅反应生成二氧化硅、四氯化硅、氯化氢。该处理方法低成本、安全环保无毒害,高效去除催化剂中残存物料,减小催化剂直接暴露风险,置换完全、有效去除催化剂中残存物料。 | ||
搜索关键词: | 多晶 硅歧化 反应 催化剂 处理 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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