[发明专利]一种干法打印稀土荧光图案的方法

摘要

本发明公开了一种干法打印稀土荧光图案的方法。利用等离子体的高活性结合三维移动平台的灵活性和精密性构建移动式等离子体装置，并以稀土有机物为原料，氧气为工作气，在基板上打印稀土荧光图案。在附有加热套的容器内加入不同种类、含量的前驱体粉末，当容器内部加热到一定温度，反应物蒸汽产生，并随氩气流动时吹出，与氧气混合一同进入毛细管电极。在高电场作用下，等离子体被激发，反应物蒸汽快速成为相应氧化物，并随电极移动打印在基板上，形成特定荧光图案。本发明装置和方法能耗低，步骤简单，绿色高效，不需使用有机溶剂，可以灵活精确地控制电极移动路径，进而在指定区域构筑特定形状的稀土荧光图案，且具有很好的普适性和应用前景。