[发明专利]一种PERC晶硅电池的清洗方法有效
申请号: | 202111248416.1 | 申请日: | 2021-10-26 |
公开(公告)号: | CN113990984B | 公开(公告)日: | 2023-10-10 |
发明(设计)人: | 陈明强;许鸿雁;张林;肖华东;陈周;陈浩;陆浩;江永敬;王博 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(金堂)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人: | 付兴奇 |
地址: | 610400 四川省成都市金*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种PERC晶硅电池的清洗方法,属于光伏领域。该清洗方法应用于PERC电池的制备过程中,对硅片在经过制绒、扩散、激光重掺杂、氧化、背面氧化层去除进行清洗。清洗方法包括:对经过背面氧化层去除之后的电池片依次进行碱液清洗、酸洗和混酸清洗;其中的,酸洗包括使用氢氟酸浸泡电池片;混酸清洗包括使用氢氟酸和盐酸的混合酸液浸泡所述电池片。并且,所述酸洗操作中的氢氟酸的氢离子浓度大于所述混酸清洗中所使用的酸的氢离子浓度。该清洗方法可以对电池片的背面进行更彻底的清洗,从而获得高质量的表面,以便于制作具有好的钝化效果的背面钝化结构、获得高转换效率的电池。 | ||
搜索关键词: | 一种 perc 电池 清洗 方法 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的