[发明专利]恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器在审
| 申请号： | 202111246327.3 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN116024580A | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 邢大为 | 申请（专利权）人： | 先进半导体材料（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23G3/00 | 分类号： | C23G3/00;C23F1/08;B01D35/143;B05B12/08;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 谷达;骆苏华 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器。所述恒压喷淋设备包括：储液缸、喷淋管、泵、过滤器以及控制器，所述控制器适于：调节泵的频率来调节液体的喷淋压力；确定所述过滤器的滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关；以及根据所述滤芯的滤芯系数来发出提示信息。所述恒压喷淋方法包括步骤：调节泵的频率来调节液体的喷淋压力；确定过滤器的滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关；以及根据所述滤芯的滤芯系数来发出提示信息。所述监控器包括获取器、控制器以及提示器。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋 设备 方法 以及 监控器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先进半导体材料（深圳）有限公司，未经先进半导体材料（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111246327.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
