[发明专利]恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器

说明书

本发明提供一种恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器。所述恒压喷淋设备包括：储液缸、喷淋管、泵、过滤器以及控制器，所述控制器适于：调节泵的频率来调节液体的喷淋压力；确定所述过滤器的滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关；以及根据所述滤芯的滤芯系数来发出提示信息。所述恒压喷淋方法包括步骤：调节泵的频率来调节液体的喷淋压力；确定过滤器的滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关；以及根据所述滤芯的滤芯系数来发出提示信息。所述监控器包括获取器、控制器以及提示器。

技术领域

本发明涉及湿制程技术领域，具体涉及一种恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器。

背景技术

化学喷淋是湿制程设备常用的处理方法，通过喷嘴喷洒化学药液到待处理工件的处理表面，达到清洗、蚀刻、除油、除锈等目的。通常药液储存在储液缸，通过泵输送到喷淋管，喷淋后回流到储液缸。

为了提高喷淋的均匀性，需要维持药液的恒定的喷淋压力。现有的恒压喷淋设备中，大多数制程需要安装过滤器来过滤药液，保证喷淋药液干净无异物，这些异物可能会导致喷嘴堵塞。然而，药液的喷淋压力随着滤芯的堵塞程度变化，影响了喷淋的均匀性。

发明内容

为了解决现有技术中存在的技术问题，本发明的实施例提供了一种恒压喷淋设备、恒压喷淋方法以及监控器，通过确定过滤器的滤芯的堵塞情况，能够及时更换过滤器的滤芯，从而达到维持恒定的喷淋压力和提高喷淋的均匀性的目的。

根据本发明的一个方面，提供一种恒压喷淋设备。所述恒压喷淋设备包括：储液缸，用于储存液体；喷淋管，用于将所述液体喷洒到待处理工件的表面；泵，用于将所述液体从所述储液缸抽取到所述喷淋管；过滤器，位于所述泵和所述喷淋管之间，所述过滤器具有用于过滤所述液体的滤芯；以及控制器，适于：调节所述泵的频率来调节所述液体的喷淋压力；确定所述过滤器的所述滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关；以及根据所述滤芯的滤芯系数来发出提示信息。

可选地，所述过滤器的所述滤芯的滤芯系数基于下面的公式来确定：

其中，α表示所述滤芯的滤芯系数，f表示所述泵的频率，P表示所述液体的喷淋压力。

可选地，所述控制器包括提示器，当所述滤芯的滤芯系数达到预定滤芯系数时，通过所述提示器发出所述提示信息。

可选地，所述控制器还包括变频器，通过所述变频器来确定所述泵的频率。

可选地，所述控制器还包括压力计，通过所述压力计来确定所述液体的喷淋压力。

可选地，所述控制器还包括存储器，适于存储所述滤芯的预定滤芯系数。

可选地，所述预定滤芯系数与所述滤芯完全堵塞前预定时间的滤芯系数相关。

可选地，所述控制器还包括比较器，适于将所述滤芯的滤芯系数与所述滤芯的预定滤芯系数进行比较。

根据本发明的另一个方面，提供一种恒压喷淋方法。所述恒压喷淋方法包括步骤：调节泵的频率来调节液体的喷淋压力；确定过滤器的滤芯的滤芯系数，所述滤芯系数与所述泵的频率和所述液体的喷淋压力相关；以及根据所述滤芯的滤芯系数来发出提示信息。

可选地，所述过滤器的所述滤芯的滤芯系数基于下面的公式来确定：

其中，α表示所述滤芯的滤芯系数，f表示所述泵的频率，P表示所述液体的喷淋压力。

可选地，当所述滤芯的滤芯系数达到预定滤芯系数时，发出所述提示信息。

可选地，通过变频器来确定所述泵的频率。

可选地，通过压力计来确定所述液体的喷淋压力。