[发明专利]一种加速度传感器有效
| 申请号： | 202111242245.1 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113917186B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 颜红彦;吕忠全;勾建伟 | 申请（专利权）人： | 南京林业大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210037 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种加速度传感器，包括：基板；质量块，悬空设置在所述基板的上方区域；四个锚区围绕所述质量块设置在所述基板上；四个连接杆分别对应连接四个锚区与所述质量块；四个电容分别对应设置在四个连接杆的端部区域；四个弹簧梁分别连接于四个连接杆与四个锚区之间；四个电感分别对应临近四个锚区设置，且分别与四个电容组成LC谐振回路。通过设计四个电容的上下极板的重叠面积可以控制该加速度传感器的灵敏度以及量程，这使得器件设计十分灵活。同时，该加速度传感器还具有结构简单、体积小、工艺兼容等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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