[发明专利]一种铁电隧道结器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202111240810.0 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113991014A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 毕津顺;杨雪琴 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;G11C11/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种铁电隧道结器件及其制造方法，铁电隧道结器件包括依次层叠的第一电极、铁电层、介质层和第二电极，其中介质层的厚度小于铁电层的厚度，介质层厚度较薄，可以作为铁电隧道结器件的隧穿层，为器件提供较大的隧穿电流，以便器件后续进行非破坏性数据读取，此时铁电层不用作为提供隧穿电流的膜层，可以具有较高的厚度，增加铁电层的极化值，提高隧穿电阻比，增加器件的存储性能。也就是说，本申请实施例通过厚度小于铁电层的介质层，利用该较薄的介质层为铁电隧道结器件提供较大的隧穿电流，较厚的铁电层提供较大的隧穿电阻比，平衡铁电隧道结器件的存储性能和进行非破坏性读取这两种性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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