[发明专利]一种真空匀料填料蒸发设备及其使用方法有效
| 申请号： | 202111235292.3 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN113981378B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;潘锦功;罗润;周冬;赵雷;樊建平;青汉森;东冬冬;王磊;余柯良;蒋猛;傅干华 | 申请（专利权）人： | 成都中建材光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 | 代理人： | 谢模杰;涂兴锐 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜制备技术领域，尤其涉及一种真空匀料填料蒸发设备，包括填料仓、沉积仓和计料机构；所述填料仓设有抽空阀，所述填料仓内设有储料箱；所述沉积仓设置于填料仓的下方，并与填料仓连通；所述计料机构位于填料仓内，所述计料机构可活动的设置在填料仓或沉积仓内；所述计料机构和储料箱之间设有第一阀门。本发明能够在原料用尽后，可实现密闭式填料，避免设备内器件在空气中的长时间暴露，大幅降低烘烤和抽真空时间，相应的减少整个填料周期，同时提高设备的稼动率，提高生产效率和产量。本发明还公开了一种应用于上述设备的使用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 填料 蒸发 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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