[发明专利]一种真空匀料填料蒸发设备及其使用方法

权利要求书

1.一种真空匀料填料蒸发设备，其特征在于，包括：

填料仓，所述填料仓设有抽空阀，所述填料仓内设有储料箱；

沉积仓，所述沉积仓设置于填料仓的下方，并与填料仓连通；以及

计料机构，所述计料机构位于填料仓内，所述计料机构可活动的设置在填料仓或沉积仓内；

其中，所述计料机构和储料箱之间设有第一阀门；所述填料仓和沉积仓之间设有第二阀门；

所述填料仓内具有一箱体，所述储料箱位于箱体的上端，第一漏斗位于箱体内，并在箱体的顶部与箱体紧密连接，保持填料时的密封性；

还包括：

第一漏斗，设置于填料仓内，位于储料箱的下方，并与储料箱连通；以及

第二漏斗，所述第二漏斗在竖直方向上与第一漏斗连通，所述第二漏斗为石墨制成，其内嵌有加热丝；

所述第一阀门设置于第一漏斗的顶端。

2.如权利要求1所述的一种真空匀料填料蒸发设备，其特征在于，

所述第二阀门设置于第二漏斗。

3.如权利要求2所述的一种真空匀料填料蒸发设备，其特征在于，所述第二漏斗的一端位于填料仓内，另一端位于沉积仓内。

4.如权利要求1所述的一种真空匀料填料蒸发设备，其特征在于，所述第二漏斗为石墨制成，其内嵌有加热丝。

5.如权利要求1所述的一种真空匀料填料蒸发设备，其特征在于，所述计料机构包括两块呈开合结构的计量盘，任意一个计量盘与储料箱铰接。

6.如权利要求1所述的一种真空匀料填料蒸发设备，其特征在于，还包括：

坩埚，所述坩埚设置于沉积仓内，所述坩埚和填料仓之间具有间隙，所述间隙位于沉积仓；以及

传送辊，所述传送辊设置于间隙内，用于转运玻璃。

7.一种匀料填料的使用方法，其特征在于，应用于如权利要求1～6任一项所述的一种真空匀料填料蒸发设备，所述使用方法包括：

将设备降温至合适温度范围；

打开抽空阀，利用外部抽真空设备，对填料仓抽真空至工艺要求；

打开第一阀门，利用计量机构称重；

称取预设重量原料，关闭第一阀门后，打开第二阀门，然后打开计量机构，使原料在垂直方向进入坩埚；

填料完成后，关闭第二阀门，烘烤、抽真空至工艺要求。