[发明专利]原位制冷的透射电镜装置在审
申请号: | 202111229809.8 | 申请日: | 2021-10-21 |
公开(公告)号: | CN113823544A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 邓昱;袁玮;黄为 | 申请(专利权)人: | 南京宁智高新材料研究院有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/26 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 211103 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种原位制冷的透射电镜装置,包括透射电镜主体和可拆卸的样品杆,所述样品杆中集成有帕尔帖制冷系统,样品杆中设有液氮流通管,用于装填液氮制冷,样品杆的头部设有样品台,样品台包括透射电子显微镜样品载网以及用于固定载网的夹具,所述透射电子显微镜样品载网通过第一传热片与所述帕尔帖制冷系统的冷端固定,直流电源为帕尔帖制冷系统供电,所述帕尔帖制冷系统的热端通过第二传热片连接到所述液氮流通管中;透射电子显微镜样品载网的实时温度通过热电偶装置测定;所述帕尔帖制冷系统采用多级制冷,各级帕尔帖制冷结构之间通过绝缘体陶瓷片隔离。本发明可使原位透射电镜样品台达到‑210℃至‑230℃,并可以精确控制温度变化。 | ||
搜索关键词: | 原位 制冷 透射 装置 | ||
【主权项】:
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