[发明专利]原位制冷的透射电镜装置

权利要求书

1.一种原位制冷的透射电镜装置，包括透射电镜主体和可拆卸的样品杆，其特征在于：所述样品杆中集成有帕尔帖制冷系统，样品杆中设有液氮流通管(2)，用于装填液氮制冷，样品杆的头部设有样品台，样品台包括透射电子显微镜样品载网(5)以及用于固定载网的夹具(4)，所述透射电子显微镜样品载网(5)通过第一传热片(3)与所述帕尔帖制冷系统的冷端固定，直流电源(6)为帕尔帖制冷系统供电，所述帕尔帖制冷系统的热端通过第二传热片(12)连接到所述液氮流通管(2)中；透射电子显微镜样品载网(5)的实时温度通过热电偶装置(11)测定；所述帕尔帖制冷系统采用多级制冷，各级帕尔帖制冷结构之间通过绝缘体陶瓷片(14)隔离。

2.根据权利要求1所述的原位制冷的透射电镜装置，其特征在于：所述帕尔帖制冷系统采用多级制冷，其中同一级的帕尔帖制冷结构包括串接的多个帕尔帖制冷单元，各制冷单元通过金属导体(13)首尾相接。

3.根据权利要求1所述的原位制冷的透射电镜装置，其特征在于：所述帕尔帖制冷系统的直流电源(6)的电压幅值可调。

4.根据权利要求1所述的原位制冷的透射电镜装置，其特征在于：所述帕尔帖制冷系统设有独立开关(7)，可单独启停。

5.根据权利要求1所述的原位制冷的透射电镜装置，其特征在于：所述液氮流通管(2)的一端通过控制液氮流速的针阀(8)与液氮罐(9)相连，液氮罐(9)上设有用于装填与回收液氮的盖板(10)。

6.根据权利要求1所述的原位制冷的透射电镜装置，其特征在于：通过控制液氮流动速率及帕尔帖制冷系统的电压来控制样品台的温度。

7.根据权利要求1所述的原位制冷的透射电镜装置，其特征在于：所述第一传热片和第二传热片采用金属铜片。