[发明专利]一种集成光源的制备方法有效
| 申请号： | 202111209832.0 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN113948958B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 王文杰;袁浚;廖明乐;黄锋;李倩;康健彬;万永彪 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H01S5/0225 | 分类号： | H01S5/0225;H01S5/02253;H01S5/02255;H01S5/02375;H01S5/0238;G02B27/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王云晓 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成光源的制备方法，包括在激光芯片的出光口表面设置微透镜；在待集成芯片表面设置光耦合部；将设置有微透镜的激光芯片的出光口朝向光耦合部设置，使激光芯片经微透镜整形的光斑与光耦合部中预设位置相互对位；将相互对位的激光芯片与待集成芯片相互键合以在激光芯片与待集成芯片之间形成具有预设高度的键合柱，使微透镜与待集成芯片之间具有光线传播间隙。通过在激光芯片的出光口表面直接设置微透镜，可以直接将激光芯片产生的激光进行整形，并通过键合柱形成的传播间隙在光耦合部形成一尺寸合适的光斑，便于对该光线进行耦合，从而可以完成集成光源的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 光源 制备 方法 | ||
【主权项】：
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