[发明专利]表面溅射钨、微孔内沉积二氧化铪的滤线栅格及制造方法在审
| 申请号： | 202111209231.X | 申请日： | 2022-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN114699095A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 任宏宇;陈龙;石攀;王梓舟;黄康胜 | 申请（专利权）人： | 中建材光芯科技有限公司 |
| 主分类号： | A61B6/00 | 分类号： | A61B6/00;C23C14/14;C23C14/35;C23C16/40;C23C16/455;C23C28/00 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 崔振旺 |
| 地址： | 277100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种表面溅射钨、微孔内沉积二氧化铪的滤线栅格及制造方法，属于X射线诊断成像设备领域。本发明采用的技术方案是：由多块高铅当量的玻璃微孔阵列单元拼接而成，玻璃微孔阵列单元上均布微孔通道，玻璃微孔阵列单元为厚度3mm、边长d的正六边形，d为10~20mm，玻璃微孔阵列单元上、下表面磁控溅射钨，形成有100~200nm厚度的金属钨镀层，微孔通道内原子层沉积二氧化铪，形成20nm的二氧化铪薄膜。本发明制得的滤线栅格光纤面板，相比采用铅玻璃直接制作微孔阵列作为滤线栅中空单元块，具有更好防散射性能，能够更好的提高图像对比度和分辨率，有利于消除摩尔纹现象对图像质量的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 溅射 微孔 沉积 氧化 栅格 制造 方法 | ||
【主权项】：
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