[发明专利]一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202111192621.0 | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN113737132A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 伍丰伟 | 申请（专利权）人： | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法，装置包括磁力板和机械臂，磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵，磁力板上间隔设有若干通孔，每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒；基板铺设在磁力吸盘棒上，并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面；掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐，磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定；机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。本发明取消掩模片开孔，采用磁力板开孔及机构翻转方式，提高基板与掩膜板的对位精度，有利于OLED量产顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 蒸镀基板 传送 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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