[发明专利]一种OLED蒸镀基板传送装置及其使用方法

权利要求书

1.一种OLED蒸镀基板传送装置，其特征在于：其包括磁力板和机械臂，磁力板上间隔设置若干磁铁形成磁铁矩阵，磁力板上间隔设有若干通孔，每个通孔活动穿设有磁力吸盘棒；基板铺设在磁力吸盘棒上，并由磁力吸盘棒带动升降以铺设在磁力板的一表面；掩膜板铺设在基板背离磁力板的一面并对齐，磁力板通过磁铁矩阵对基板和掩膜板进行吸附固定；机械臂带动基板铺设在磁力吸盘棒上并在掩膜板和基板对齐后带动磁力板翻转。

2.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀基板传送装置，其特征在于：磁力板上位于同一行或同一列的磁铁的磁极方向相同。

3.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀基板传送装置，其特征在于：磁力板对应磁铁设有若干固定槽，磁铁可拆卸固定在固定槽内。

4.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀基板传送装置，其特征在于：掩膜板包括掩膜片和掩膜框，掩膜板的侧边由一掩膜框固定，掩膜框固定在掩膜板支撑座上。

5.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀基板传送装置，其特征在于：磁力吸盘棒一端具有磁力吸盘，磁力吸盘对基板进行吸附支撑。

6.一种OLED蒸镀基板传送装置的使用方法，根据权利要求1至5之一所述的一种OLED蒸镀基板传送装置，其特征在于：方法包括以下步骤：

步骤1，将磁力板一面朝上放置，并将磁铁固定在磁力板上以形成磁力矩阵；

步骤2，磁力吸盘棒配置于磁力板的通孔内，且磁力吸盘棒保证具有磁力吸盘的一端高于磁力板一面；

步骤3，操纵机械臂将基板送进腔室以放置于磁力吸盘棒上，并在磁力吸盘棒对基板形成支撑后操纵机械臂退出腔室；

步骤4，控制磁力吸盘棒下降，并使得磁力吸盘棒的一端低于磁力板的一面；

步骤5，待基板放置于磁力板的一面后，将掩膜板反面送入腔室并放置于基板的上方；

步骤6，逐步降低掩膜板高度至即将接触基板位置，启动CCD进对位，同时控制调整掩膜板的位置，使得掩膜板与基板对齐；

步骤7，掩膜板与基板对齐后，降低掩膜板使得掩膜板与基板接触，磁力板通过磁力将基板和掩膜板紧密贴合；

步骤8，操纵机械臂带动磁力板翻转180°，基板和掩膜板同步翻转180°，使得掩膜板的底杠与腔室内的滚轮相互作用将基板送入镀膜腔室。

7.根据权利要求6所述的一种OLED蒸镀基板传送装置的使用方法，其特征在于：步骤3中机械臂将基板送进腔室时，基板的地面高度高于磁力吸盘棒的一端；待基板到位时，操纵机械臂下降使得基板放置于磁力吸盘棒上并由磁力吸盘棒支撑。

8.根据权利要求6所述的一种OLED蒸镀基板传送装置的使用方法，其特征在于：步骤6中先粗调对位后，进行细调对位；粗调精度为500~150μm，而细调对位的精度范围≤50μm。